由低于大气压的气体所充满的空间被称为真空。真空有不同的程度:从大气压到百分之一气压的状态被称为低真空,到百万分之一的被称为中真空,到一百亿分之一的被称为高真空,到十兆分之一的被称为超高真空,低于十兆分之一的被称为极高真空状态。

到达各种真空状态需要各种排气泵的组合,达到中真空状态可利用转轮泵等机械泵,到达中真空状态以上需要另外使用分子泵,油扩散泵,低温泵或离子泵等。根据所需的真空状态,各种排气泵可适当组合。